CM300xi with Loader是一款12英寸全自動晶圓測量探針臺。性能參數完全繼承了CM300xi半自動產品的特性。可以應用于低噪聲IV/CV、射頻微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR測量領域。CM300xi集成了諸多專利技術,全球獨一無二的Contact Intelligence技術滿足極端復雜的環境測量挑戰,如無人值守測量小尺寸Pad以及多個溫度下的測量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測試環境,在所有的測量應用領域均表現出無論倫比的杰出測量性能。配有晶圓處理單元,該單元可以在SEMI標準Wafer盒中配置多達50張8英寸或12英寸晶圓片。
FormFactor在射頻/微波測量領域首屈一指,有完整產品系解決方案,包括探針臺、射頻探針、針座、校準片、校準軟件以及戰略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領域的專家。在射頻微波領域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號完整性測試。WinCalXE校準軟件功能十分強大,支持1、2、3和4端口校準算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風格的Multi-Line的RL校準,以及用于數據比較和增強的錯誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實施變溫校準與測量,極大地保障了測量的一致性與穩定性。CM300xi with Loader一款可以滿足上述射頻性能的探針臺。