Summit 12000是一款8英寸半自動(dòng)晶圓測(cè)量探針臺(tái),專為半導(dǎo)體器件研發(fā)、器件表征/建模、晶圓可靠性分析、量產(chǎn)測(cè)試而設(shè)計(jì),可用于低噪聲直流、射頻、毫米波和THz、失效分析、MEMS等應(yīng)用領(lǐng)域的全溫范圍(-60℃-300℃)內(nèi)測(cè)量。Summit12000集成PureLine和AttoGurad專利技術(shù),PureLine技術(shù)實(shí)現(xiàn)了目前市場(chǎng)上最低的噪聲水平,專利MicroChamber和AttoGuard技術(shù)提供電磁屏蔽、光密測(cè)試環(huán)境,顯著地降低漏電使其可以滿足fA級(jí)漏電測(cè)量和fC級(jí)低電容測(cè)量能力。Summit 12000產(chǎn)品的Summit 12000-AP和Summit 12000-M.滿足超低噪聲直流測(cè)量表征,TRIAX卡盤漏電最大分為別1fA和15fA.
Volex探針臺(tái)控制軟件實(shí)現(xiàn)屏幕導(dǎo)航、晶圓映射Wafer Mapping、對(duì)準(zhǔn)、細(xì)分sub-Die等功能,同時(shí)集成溫控系統(tǒng)、可以無縫連接各種分析與測(cè)量軟件,包括射頻WINCAL校準(zhǔn)軟件。
FormFactor在射頻/微波測(cè)量領(lǐng)域首屈一指,有完整產(chǎn)品系解決方案,包括探針臺(tái)、射頻探針、針座、校準(zhǔn)片、校準(zhǔn)軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測(cè)量領(lǐng)域的專家。在射頻微波領(lǐng)域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測(cè)量表征,同時(shí)也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測(cè)量以及信號(hào)完整性測(cè)試。WinCalXE校準(zhǔn)軟件功能十分強(qiáng)大,支持1、2、3和4端口校準(zhǔn)算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風(fēng)格的Multi-Line的RL校準(zhǔn),以及用于數(shù)據(jù)比較和增強(qiáng)的錯(cuò)誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測(cè)控制軟件兼容,實(shí)施變溫校準(zhǔn)與測(cè)量,極大地保障了測(cè)量的一致性與穩(wěn)定性。Summit 12000這一款可以滿足上述射頻性能的探針臺(tái)。