PM300PS是一款12英寸半手動動晶圓測量探針臺,為器件表征和建模、工藝開發、晶片級可靠性、故障分析和3D集成電路工程測試創造了一個不受電磁干擾(EMI)和射頻干擾(RFI)的測量環境。這使得精確的低噪聲測量成為可能,支持-60°C溫度測量。靜音模式技術在關鍵測量中能消除所有的電機馬達噪聲。這將能提供理想的條件即使在最敏感的測量應用中,諸如當使用電動元件,如定位器和顯微鏡運動產生的1/f噪音測量。應用領域:可以應用于低噪聲IV/CV、射頻微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR.
與PM300一樣,通過配置相應的射頻探針座、射頻探針、校準片、校準軟件可以完成mmW的校準與測量。