Summit 200-semi-atuomated是一款全球性能無論倫比的8英寸半自動晶圓測量探針臺,專為半導體器件研發、器件表征/建模、可靠性分析、量產測試而設計,可用于低噪聲直流、射頻、毫米波和THz、硅光、MEMS等應用領域的全溫范圍(-60℃-300℃)內測量。Summit 200集成了諸多專利技術,全球獨一無二的Contact Intelligence技術滿足極端復雜的環境測量挑戰,如無人值守測量小尺寸Pad以及多個溫度下的測量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測試環境,在所有的測量應用領域均表現出無論倫比的杰出測量性能。Contact Intelligence能力,全球獨創的技術,保證Probes與晶片高質量的持續接觸。創新的系統設計和先進的圖像處理技術相結合,提供了一個獨立于操作人員的解決方案,可以在任何時候實現高度可靠的測量數據。采用PureLine技術實現了目前市場上最低的噪音水平。專利AttoGuard和MicroChamber技術顯著提高低漏電流能力和低電容測量能力。Summit 200產品的Summit 200-AP和Summit 200-M.滿足超低噪聲直流測量表征,TRIAX卡盤漏電最大分為別1fA和15fA.
FormFactor在射頻/微波測量領域首屈一指,有完整產品系解決方案,包括探針臺、射頻探針、針座、校準片、校準軟件以及戰略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領域的專家。在射頻微波領域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號完整性測試。WinCalXE校準軟件功能十分強大,支持1、2、3和4端口校準算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風格的Multi-Line的RL校準,以及用于數據比較和增強的錯誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實施變溫校準與測量,極大地保障了測量的一致性與穩定性。Summit 200這一款可以滿足上述射頻性能的探針臺。